Triklorsilan

Triklorsilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) er en fargeløs, svært flyktig væske med en skarp, kvelende hydrogenkloridlukt. Koker ved 31,8 grader og reagerer voldsomt med fuktighet, og er nøkkelråstoffet for Siemens-prosessen for å produsere polysilisium med høy{10}}renhet for solceller og halvlederskiver. TCS er også mye brukt i silisiumepitaksial wafervekst, organosilisiumsyntese (silikonoljer, gummier, harpikser, koblingsmidler), CVD silisium tynnfilmavsetning, og som et selektivt reduksjonsmiddel i organisk syntese. Tilgjengelig i industrikvalitet (Større enn eller lik 99,0%) og elektronisk kvalitet (opptil 9N renhet). Klassifisert som vannreaktiv og svært brannfarlig (UN 1295, Klasse 4.3+2.3, PG I) med et ekstremt bredt eksplosjonsområde på 1,2 %–90,5 %; håndteres kun under strengt vannfrie forhold med tørr nitrogenbeskyttelse.